微电子

晶体生长

PV 反吹过滤单元保护真空泵

单晶硅锭生长用直拉单晶炉所释放的废气含有大量熔融硅冷凝形成的尘埃颗粒。为了保护人员、环境和真空泵有必要对这些粉尘进行过滤。

细硅粉尘活性极强,可被立即氧化生成SiO 和 SiO2,这一反应为放热反应。依掺杂物的不同,这些粉尘颗粒有可能十分有害。

颇尔在粉尘过滤方面经验丰富。颇尔 PSS 不锈钢过滤器和滤壳,再加上反吹技术,是这一行业中经长期验证最行之有效的解决方案。

传统过滤器技术
  • 采用一次性过滤器去除灰尘,更换过滤器时须打开过滤器滤壳,操作人员暴露在粉尘中,泵环境也会被污染。
  • Si/SiO 氧化成 SiO2 是放热反应,传统型过滤器通常不能耐受反复的高温,以至于破坏了过滤器的完整性。这就使得硅粉尘得以通过过滤器,而逐步破坏泵体。
  • 频繁更换过滤器可导致停机时间长、使用成本(CoO)高。
采用反吹技术的 PSS 过滤器滤材
  • 颇尔拥有市场上最有效且经长期验证的解决方案
  • 除粉尘时不需打开过滤器滤壳
  • 采用反吹技术,清洁过程迅速且可自动化
 

光伏概述
光伏 - 应用
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  • Si/SiO 氧化成 SiO2 的反应是在过滤器滤壳中完成的,反应条件易于控制
  • PSS 过滤器耐用性极强,可耐受高温且对硅粉尘具有极佳的过滤性能
  • 过滤器单元可以是半自动化的,也可以是全自动化的
  • 反吹单元可使用多年而不需更换过滤器
  • CoO 模式显示能在1 至2 年内收回投资回报(Rol)
  • 无泄露、泵寿命长、低CoO

PV 反吹单元的安装

PV 反吹单元的安装


直拉单晶炉的气体纯化

当硅锭在生长过程中出现结晶缺陷时,就需要重熔以去除这些缺陷。由于这将延长生产周期并为设备产量带来不利影响,因此成本十分高昂。Gaskleen 纯化器可以将直拉单晶炉工艺中用作载气的氩气中所包含的水分减少至亚 ppb 水平。

  • 结晶缺陷将在硅锭生长期间降至最低
  • 额外的重熔步骤将得到有效减少或去除污染物