用于显示器生产的气体过滤和纯化

过滤

大宗及使用点气体中的微粒去除对于液晶显示器的制造非常关键。气体过滤中的滤膜、金属或陶瓷材质的效率与液体过滤有着显著的差异。颇尔气体过滤器的典型过滤精度通常为 3 纳米,3纳米也是通过凝结核计数器 (CNC) 进行可靠测量的最小颗粒尺寸。

过滤介质和结构

过滤器采用的 PTFE、不锈钢、镍或陶瓷介质,可满足环境温度或高温条件下惰性或腐蚀性气体的兼容性要求。

从小型到大型组件(包含过滤器选择的一次性金属滤壳)再到一次性滤芯的一系列配置,可满足所有流量要求。

 

显示器概述显示器 - 应用
显示器 - 化学过滤
显示器 - 照相平版印刷过滤
显示器 - 液晶过滤
显示器 - 气体过滤与净化
显示器 - 超纯水过滤

气体扩散器

气体扩散器非常适用于Load Lock接口或其他真空室的排气应用,在这些应用中,大量气体会在很短的时间内流过一个小孔。Pall ChamberKleen 扩散器结合了一个不锈钢过滤器和独特的扩散膜,可使气体向360度方向通过。这种组合使大量气体可均匀流动,限制了腔室内颗粒的扰动。结果,由于颗粒扰动量小,提高了晶片产量和设备整体效率,从而实现快速排气。

纯化

随着像素密度不断增加,过去尚未造成严重问题的杂质,现在可能会导致缺陷,从而降低产品品质和产量。分子杂质,又称为气体或挥发性杂质,最近已引起更广泛的关注,认为它们是 PECVD 和溅射操作中造成缺陷的原因。常见的分子杂质包括水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳和烃类。这些杂质无法通过颗粒过滤去除;它们需要一个用于去除杂质的材料反应床。从气流中去除分子杂质的过程被称为气体纯化。

AresKleen 技术

AresKleen 材料是一种对气体杂质反应性很强的完全无机的介质。颇尔的纯化器可以将惰性、稀有、非反应、氢化物、全氟化碳和腐蚀性气体中的微量杂质减至 < 1 ppb。

我们的纯化器具有以下功能和优势:

  • 室温下操作,无需额外的热源
  • 小型均匀基质,出色的反应床装填,可实现纯化器的垂直或水平安装。
  • 集成颗粒过滤器,使纯化器可用作in-line过滤器的替代改进,而无需对设备进行改造。
  • 可纯化各种特定气体介质

纯化器产品

颇尔纯化器可满足各种流量要求。


在显示器生产中用于气体过滤的产品

总成

Gaskleen 6101 系列过滤器
Gaskleen 6101 系列过滤器用于 ≥ 3 纳米 (0.003 μm) 的工艺气体过滤。



Gaskleen IV 系列过滤器
Gaskleen IV 系列过滤器专为 3 纳米 (0.003 µm) 超高纯度半导体工艺气体过滤而设计。


Gaskleen Sealed In-Line 过滤器
Gaskleen 密封型在线过滤器总成流量不超过 200 scfm 且 ≥ 3 纳米 (0.003 μm) 的过滤而设计。
   

Gaskleen V 系列过滤器
Gaskleen V 系列过滤器颇尔的新一代气体过滤器,为提供超高纯度半导体工艺气体过滤而设计。

    
Maxi Gaskleen 8202/9202 系列过滤器
Maxi Gaskleen 8202/9202 系列过滤器专为 ≥ 3 纳米 (0.003 μm) 的高流量应用而设计。

    
Micro Kleen-Change 过滤器
Micro Kleen-Change 过滤器(气体过滤)专为低压及超高纯度使用点气体应用而设计。

    
Mini Gaskleen Hi-Flow 过滤器
Mini Gaskleen Hi-Flow 过滤器专为超高纯度使用点气体过滤应用而设计。

    
Mini Kleen-Change 过滤器
Mini Kleen-Change 过滤器(气体过滤)专为低压及超高纯度使用点气体过滤应用而设计。

    
Mini Ultramet-L 1100 系列过滤器
Mini Ultramet-L 1100 系列过滤器≥ 3 纳米(0.003 微米)的半导体级气体过滤,特别适用于使用点应用。

    
PFA Gaskleen 6101 系列过滤器
PFA Gaskleen® 6101 系列过滤器≥ 3 纳米(0.003 微米)的氧气和特种气体过滤。


Ultramet-L 4000 系列过滤器
Ultramet-L 4000 系列过滤器独特的316L 全不锈钢材质过滤器,专为 ≥ 3 纳米 (0.003 μm) 半导体工艺气体过滤而设计。

    
Ultramet-L 4400 系列过滤器
Ultramet-L 4400 系列过滤器316L 不锈钢或镍兼容的工艺气体过滤应用


PG 系列 Gaskleen 气体纯化器和配管
PG 系列 Gaskleen 气体纯化器和歧管用于处理高达 1,000 slpm 的工艺流速。



过滤器

Emflon 过滤器
Emflon 过滤器(气体过滤)为半导体行业中 ≥ 3 纳米 (0.003 μm) 批量气体应用中的过滤而设计。


Emflon PF 过滤器
Emflon PF 过滤器(气体过滤)全含氟聚合物打褶过滤器,专为 3 纳米 (0.003 µm) 腐蚀性工艺气体批量过滤而设计。


Gasket-Sert 过滤器
Gasket-Sert 过滤器为保护半导体气体分布系统中使用的气体面板上的主要元件而设计。


Gasket-Sert PSP 过滤器
Gasket-Sert PSP 过滤器为保护半导体气体分布系统中使用的气体面板上的主要元件而设计。

    
High-Flow Emflon 过滤器
Emflon 高流量滤芯为 SCFM 的 LCD 和半导体行业中流量超过 2,000 Nm3/h / 1,000 的批量氮气及清洁干空气应用而设计。


Small Flow Emflon 过滤器
Small Flow Emflon 过滤器(气体过滤)用于半导体器件生产中 ≥ 3 纳米(0.003 微米)的惰性气体过滤应用。

    
Ultipleat PK CDA 过滤器
Ultipleat PK CDA 过滤器为 LCD 及半导体行业中的清洁干空气及氮气应用而设计。 适用于高达 10,000 SLPM (353 SCFM) 的流量。

 

在显示器生产中用于气体纯化的产品

净油机

Gaskleen 1 1/8'' C-Seal 气体纯化器
Gaskleen ST 纯化器可去除许多工艺气体中的污染物。



Gaskleen II 气体纯化器
Gaskleen II 气体纯化器可去除多数工艺气体中的污染物。



Gaskleen SP 气体纯化器
Gaskleen SP 气体纯化器保护氧气分析仪中使用的氧化锆 (ZrO2) 传感器。


    
Gaskleen ST 气体纯化器
Gaskleen ST 纯化器可去除许多工艺气体中的污染物。


    
Maxi Gaskleen 气体纯化器
Maxi Gaskleen 气体纯化器可去除多数工艺气体中的污染物。


    
Mini Gaskleen 气体纯化器
可去除许多工艺气体中的污染物。