微电子

半导体生产的气体过滤和纯化

随着线宽的不断缩小,对高纯度气体的需求稳步增加。 颇尔的气体过滤和纯化产品系列可帮助用户满足其最严格的纯化需求。

气体过滤

我们提供最广泛的过滤产品系列,这些产品含由 PTFE、不锈钢、镍和陶瓷制成的介质,可去除 > 3 纳米 (nm) 的颗粒。 我们的不锈钢滤壳材料满足或超出 VAR 材料的行业标准,可实现精抛光、无裂缝的表面。 各种产品尺寸可适应各种流量,包括设备使用点 (POU)、大宗供气系统和两者之间的所有点。了解更多……

燃气过滤

纯化器可去除分子杂质,包括但不限于水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、金属羰基化合物和非甲烷碳氢化合物。 我们独特的材料能够将各种气体中的杂质降至基准水平,这些气体包括惰性气体、易燃气体、碳氟化合物、含氧化合物、氯化化合物、腐蚀性气体和其他化合物。 所有纯化器都装载一个颗粒过滤器。了解更多……
 

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