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半导体生产的气体过滤应用资料

标题 相关子流程 工艺
改进
产品优点 涉及产品
应用
公告
维护超高纯气体供应系统
通过安装颇尔气体过滤器组件
 (PDF)
不可用
  • 保持一致的纯度
  • 消除因脱气所产生的水分和氧气污染气体输送系统
  • 真空泵停机时间短,
    从而缩短工艺周期
  • 降低总成本
通过安装
颇尔 ChamberKleen 扩散器
 (PDF),防止晶片颗粒
不可用
  • 清洗周期更短
  • 设备和工艺产量提高
  • 减少湍流
  • 降低晶片颗粒瑕疵
  • 降低总成本

通过安装
颇尔气体过滤器
 (PDF),去除超高纯气体交付系统中的颗粒污染物

  • 直接拦截
  • 惯性碰撞
  • 扩散拦截
  • 去除大小尺寸的颗粒
  • 降低总成本
技术文档

颇尔 Ultramet-L 过滤器的性能特性

     
电子级气体过滤器的
推荐更换时间表
  • 等离子刻蚀多晶硅
  • 扩散炉清洗
  • 氧化工艺
不可用 不可用
减少系统占用面积和运营成本
通过谨慎选择组件
 (PDF)
  • 等离子蚀刻工艺
  • 对系统占用面积的影响降至最低,流速提高
  • 减小系统占用面积
  • 去除有害污染物
  • 减少校准次数
  • 去除金属羰基复合物
  • 去除有害水分杂质
  • 延长的运转寿命
  • 减少更换次数
  • 无需附加热源
  • 降低资本和维护成本
  • 增加正常运行时间
  • 提高产量
  • 避免额外的资本、能源和维护费用
高纯度半导体气体过滤器选择指南
组件的 316L 不锈钢
不可用
  • 去除颗粒污染物
不可用
  • 所有 Gaskleen 和 Ultramet-L 过滤器
在超净气体分配系统中
使用含氟聚合物和全不锈钢过滤器
不可用
  • 去除颗粒污染物
  • 将排气量减至最低
不可用
使用镍和 316L 不锈钢过滤器
高纯度腐蚀性气体分配系统组件
不可用
  • 提高 UHP 气体系统的防腐性
不可用