半导体生产的气体颗粒过滤

先进设备生产的工艺要求极大提高了所有类型的高纯度气体的使用量。

为达到和保持这些气体的高纯度要求,选择用于供气系统和使用点应用的正确过滤器就至关重要。

过滤器要求

由于对 IC 生产中工艺气体的纯度要求已提高,人们开始重新思考用于评估过滤器性能的标准。

颗粒过滤等级并非用于选择各种过滤器产品的唯一衡量标准,还必须考虑过滤器排出有害杂质和去除颗粒的能力。

该问题也适用于过滤器组件和滤壳。

颇尔认识到,就产品质量而言,正确的材料选择、清洁度标准、滤壳表面制备以及专业的制造工艺等都至关重要。

我们的专业知识让我们引入了一些已成为行业标准的做法。

 

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所有颇尔 Gaskleen 过滤器组件均:

  • 采用特殊的双袋包装,并通过高纯度氮气吹扫,以防止水分和氧气污染
  • 由涂铝聚酯水蒸气阻隔袋保护,可提供额外的清洁保证
   
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