微电子

工艺用水和硅回收

切割前的硅锭预成形工艺包括几个切割和研磨环节。

必须以大量的水冷却加工工具和硅表面,作为润滑剂并去除生成的硅粉末。用过的工艺用水中的硅颗粒会严重污染设备。

颇尔采用了新一代全自动操作系统,可从用过的研磨/ 切割用水中回收水资源和硅渣。(请在此点击查看相关应用范例。)通过这些系统,光伏电池制造商可以:

  • 回收用过的工艺用水,并且制备成优质水的比例高达 95 %
  • 降低废水排放量
  • 通过控制工艺用水的标准提高锯切/ 研磨效果
  • 降低设备的故障率,减少管路、贮罐和水池中无法控制的沉淀物
  • 控制预工艺过程用水,降低硅- 水反应带来的化学危害
  • 收集化学污染轻微的脱水硅残渣,将其用作硅重新利用

该回收系统( 见下面的图示) 的核心是一套动态膜过滤器(MF) 单元,其中整合了对浓缩硅进行物理化学处理的功能。

系统可净化被污染的工艺用水。通常,90-95% 被污染的工艺用水可彻底净化并加以重新利用。剩余的浓缩物可排放或混合到其他废水中,也可做进一步处理以达到排放标准或对硅残渣进行脱水。其他选配功能可根据需要提供。

 

光伏概述
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光伏 - 晶体生长
光伏 - 硅和工艺水改造
光伏 - 晶硅电池处理
光伏 - 薄膜组件生产
光伏 - 产品

颇尔拥有各种系统,其含硅废水处理能力为3 至33 m³/h (13-145 GPM) ,现有20 多种系统正在世界各地可靠运行。 下图是硅研磨/ 切割废水处理能力为 30 m³/h (132 GPM) 的动态过滤单元。该单元能够以 2 x 75 % 结构安全供应工艺用水。

回收用过的研磨 / 切割用水

回收用过的研磨 / 切割用水

用于硅光伏板研磨 / 切割用水回收的自动微过滤系统

用于硅光伏板研磨 / 切割用水回收的自动微过滤系统