化学兼容性指南

以下过滤产品兼容性指南中提供的兼容性数据仅供参考。

由于许多因素都可能对指定产品的化学抗性造成影响,您应在您的操作条件下进行预测试,并观察适用的安全实践,如各种化学物的材料安全数据表中所提供的那样。

除查阅有关材料的一般兼容性信息指南,还应参考各类流体特有的滤壳等级。

例如,PP Megaplast 滤壳仅具有水等级,不建议应用于化学品加工。有关特定应用的兼容性问题,请联系颇尔微电子。


 

过滤产品兼容性指南


E - 优秀
G - 环境温度下表现良好
LR - 一般推荐
NR - 不推荐

请联系颇尔微电子获取具体建议。
 

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过滤器 滤壳 O 型圈
Ultipleat 深层
/
Profile UP
Ultipleat P-Nylon Emflon P Emflon Fluorodyne Ulti-Etch Fluoryte
/
UltiKleen
Ultipleat Mega-Etch
/
Ultipleat SP DR
PE-Kleen 316L SS 聚丙烯 PFA PVDF Fluoroelastomer 丁腈橡胶 Fluoroelastomer
/
FEP
Silicone EPR Kalrez
     
乙酸 (10%) G NR E E E E E G G E E E E G G E G G E
乙酸,冰 LR NR E LR E E E G G E LR E E NR G E G G E
盐酸(浓缩) G NR E E E E E G G NR LR E E G NR E NR NR E
盐酸 (49%) G NR E E E E E LR G NR LR E E G NR E NR NR E
盐酸(稀释) G NR E E E E E G G NR G E E G NR E NR LR E
过氧化氢 (30%) LR NR G G G G E NR NR G LR E G G NR E LR LR E
硝酸(浓缩) NR NR NR NR NR NR E NR NR G LR E G G NR E LR LR E
磷酸(浓缩) LR NR G G G G E LR LR LR LR E G G NR E NR G E
硫酸(浓缩) NR NR NR LR LR NR E NR NR NR NR E G G NR E NR NR E
     
氟化铵 (40%) LR G G E E E E G G NR LR E E G G E NR G E
氢氧化铵(浓缩) G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR NR E G G E
氢氧化钾(浓缩) G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR LR E NR G E
氢氧化钠(浓缩) G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR LR E NR G E
四甲基铵
氢氧化物 (TMAH) (5%)
G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR NR E LR LR E
醇类      
丁醇 E E E E E E E LR G LR G E NR1 LR NR E LR LR E
乙醇 E E E E E E E LR G E E E E G LR E G G E
乙二醇 E E E E E E E LR G E G E E G G E G G E
丙三醇 E E E E E E E LR G E E E E G G E G G E
异丁醇 E E E E E E E LR G E E E E G G E G G E
异丙醇 (IPA) E E E E E E E LR G E E E E G G E G G E
甲醇 E E E E E E E LR G E E E E LR G E G G E
丙二醇 G G G G G G E LR G E G E E G G E G G E
1 不建议用于浓缩溶剂。
2Kalrez 是 E. I. du Pont de Nemours and Company 公司商标。


过滤产品兼容性指南


E - 优秀
G - 环境温度下表现良好
LR - 一般推荐
NR - 不推荐

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过滤器 滤壳 O 型圈
Ultipleat 深层
/
Profile UP
Ultipleat P-Nylon Emflon P Emflon Fluorodyne Ulti-Etch Fluoryte
/
UltiKleen
Ultipleat Mega-Etch
/
Ultipleat SP DR
PE-Kleen 316L SS 聚丙烯 PFA PVDF Fluoroelastomer 丁腈橡胶 Fluoroelastomer
/
FEP
Silicone EPR Kalrez
酯类      
乙酸丁酯 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
乙酸溶纤剂 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
乙酸乙酯 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
乳酸乙酯 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
卤代烃      
四氯化碳 NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
三氟乙烷 NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR NR
二氯甲烷 NR NR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E H NR E NR NR G
四氯乙烯
(全氯乙烯)
NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
三氯乙烷
NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
三氯乙烯
NR NR G3 NR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
烃类      
环己烷 LR LR LR LR LR LR E LR LR G NR E E G G E NR NR E
己烷 LR LR LR LR LR LR E LR LR G NR E E G G E NR NR E
戊烷 NR LR LR LR LR LR E LR LR G NR E E G G E NR NR E
石油醚 LR LR LR LR LR LR E NR NR G NR E G G G E NR NR E
甲苯 NR LR NR LR LR LR E NR NR G NR E G G NR E NR NR G
二甲苯 NR LR NR LR LR LR E NR NR G NR E G G NR E NR NR G
酮类      
Acetone G G G G NR NR E NR LR G G E NR NR NR E NR G E
Cyclohexanone G G G G NR NR E NR LR G G E NR NR NR E NR G E
甲乙酮 (MEK) LR G G G NR NR E NR LR G LR E NR NR NR E NR G E
甲基异丁基甲酮 (MIBK) LR G G G NR NR E NR LR G LR E NR NR NR E NR LR E
3 针对预溶出元素为良好等级;否则为 LR 等级。


过滤产品兼容性指南


E - 优秀
G - 环境温度下表现良好
LR - 一般推荐
NR - 不推荐

请联系颇尔微电子获取具体建议。

过滤器 滤壳 O 型圈
Ultipleat 深层
/
Profile UP
Ultipleat P-Nylon Emflon P Emflon Fluorodyne Ulti-Etch Fluoryte
/
UltiKleen
Ultipleat Mega-Etch
/
Ultipleat SP DR
PE-Kleen 316L SS 聚丙烯 PFA PVDF Fluoroelastomer 丁腈橡胶 Fluoroelastomer
/
FEP
Silicone EPR Kalrez
其他      
二甲亚砜
(DMSO)
LR G G G NR NR E G G G LR E NR NR NR E NR NR E
六甲基-
二硅胺
(HMDS)
LR LR G LR LR LR E G G G NR E LR NR NR E NR NR E
EGMEA LR G G G G G E LR G G NR E G NR NR E NR NR E
硅油类 G G G G G G E G G G G E E G G E NR G E
PEGMEA LR G G E G G E LR G G NR E G NR NR E NR NR E
烃类      
王水
HNO3:HCl
NR NR NR NR NR NR E NR NR NR NR E LR NR NR E NR NR E
BOE
NH4F:HF
G NR G G E E E G G NR G E E G NR E NR NR E
NOE;乙二醇/
NH4F:H2O:表面活性剂
G G E E E E E G G NR G E E G G E NR G E
混合酸蚀;(HNO3<20%)
HNO3:HF:CH3CO2H
LR NR LR NR LR LR E NR NR LR NR E E LR NR E NR NR E
铬磷酸盐 H2O:H3PO4:CRO3 (32:1:0.1) LR NR G G G G E NR NR LR NR E E LR NR E NR NR E
咯酮;(NMP) LR NR G LR NR NR E NR NR G LR E NR NR NR E NR LR E
P-Etch;(3:5:92)
HNO3:HF:DI H2O
LR NR G NR G G E NR NR G LR E G G NR E NR NR E
Piranha; H2SO4 :H2O2 NR NR NR NR NR NR E NR NR NR NR E LR NR NR E NR NR E
RCA Etch; (75:15:5:5) H3PO4 :CH3CO2:H:HNO3:DI H2O NR NR G NR G G E NR NR LR LR E G G NR E NR NR E
SC1(RCA 清洗) NH4OH :H2O2 :DI H2O NR NR LR LR NR NR E LR LR LR NR E G LR NR E NR NR E
SC2;HCl :H2O2 :DI H2O NR NR NR LR NR NR E LR LR LR NR E G LR NR E NR NR E