薄膜组件生产

化学品及水过滤

Ultipleat PK 过滤产品为大型基板上的化学品及去离子水处理而设计。精细过滤对于薄膜加工过程中的膜完整性尤为重要。一致的较高组件质量需要清洁的基板。

适合薄膜太阳能生产的气体解决方案

颇尔 提供一系列过滤及纯化产品,可实现光电设备生产商所需的最高纯度气体。

用于薄膜沉积的气体纯化

铜铟镓二硒 (CIGS) 太阳能电池中的薄膜活跃层通常利用溅射淀积成型。

在这一基于真空的工艺中,电子和离子的等离子体从惰性氩气中产生出来。这些离子将原子从晶体材料表面驱逐出来,并在基质上堆积形成一层极薄的涂层。

多元膜可以极佳的化学计量精确度进行沉积。

颇尔氩气纯化产品可清除水分、氧气、一氧化碳、二氧化碳和烃类:

  • 提高膜片质量
  • 减低排气,可带来更快的泵停机时间
 

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非晶硅薄膜和防反射涂层

用于形成抗反射涂层或非晶硅薄膜的氢气和硅烷气体中所含的分子污染可能会导致多种工艺问题,例如涂层不均匀以及由于颗粒生成而产生的其他类型缺陷。

Gaskleen II 纯化器可将氢气和硅烷气体中的湿气减少至 1ppb 以下。 同时有效去除硅氧烷以及硅烷中所包含的砷、磷、铝和硼等杂质元素含量。

低本高效的气体过滤

Gaskleen Light 系列过滤器为光电市场提供先进的气体过滤,同时降低成本。