微电子

显示器生产中的超纯水过滤

由于超纯水在显示器制造中被广泛应用,因此超纯水的制备及维护极其重要。

行业技术在过去几年中取得非常快速的发展,并已重新定义了对清洁的要求,尤其是与需定量去除硅胶、颗粒、总有机碳 (TOC)、细菌、热源(细菌碎片)和金属离子相关的清洁。

由于每个关键领域中所选择的过滤器类型将对最终过滤质量产生显著影响,精心设计的超纯水 (UPW) 系统中将过滤器的位置进行巧妙安排,可确保达到这一目标。

为满足高纯去离子 (DI) 水系统的要求,过滤器必须:

  • 不向下游增加有机、颗粒或金属离子污染物 
  • 不卸载已拦截的污染物或脱落过滤器材料 
  • 可进行完整性测试以验证过滤精度 
  • 不同批次的过滤器可表现出稳定的性能 
  • 低压降、较长的使用寿命和最大限度的降低成本
 

显示器概述显示器 - 应用
显示器 - 化学过滤
显示器 - 照相平版印刷过滤
显示器 - 液晶过滤
显示器 - 气体过滤与净化
显示器 - 超纯水过滤

颇尔可为反渗透预过滤、树脂拦截、环路和使用点位置提供优质过滤器。 IonKleen™ 纯化系列滤芯可将微量金属去除至较低的 ppt 范围。


显示面板生产中的超纯水过滤产品

过滤器

Asymmetric P-Nylon 过滤器 (超纯水过滤)
Asymmetric P-Nylon 过滤器 (超纯水过滤)采用锥形孔径设计,并具有开放式上游结构和精细的下游构造,在极低的压差下可实现最低 20nm 的过滤精度。

   
Nexis A 系列过滤器
Nexis A 系列滤芯在高压环境下污染物卸载。




    
Nexis T 系列过滤器
Nexis T 系列滤芯连续渐变孔径结构介质,适合用于预过滤和最终过滤。



   
Poly-Fine XLD 系列过滤器
Poly-Fine XLD 系列过滤器深层和打褶技术的创新结合,低压降高量。




Posidyne UP 过滤器
Posidyne UP 过滤器 Posidyne UP 适用超纯水应用,可满足当今先进半导体制造商的需求。



Profile II 过滤器
Profile II 过滤器Profile II 的去除效率高达99.98 %。适合于反渗透预过滤、树脂拦截和冷却水应用。
    

Profile UP 过滤器
Profile UP 过滤器 Profile UP 采用 Ultipleat打褶式深层结构。在作为树脂拦截、反渗透预过滤或冷却水过滤时,有着卓越的流量-压差比。


Ultipleat 大流量过滤器
Ultipleat High Flow过滤器适合于冷却水、反渗透预过滤及树脂拦截过滤等用途的各种应用。



针对蚀刻应用的 Ultipleat 大流量过滤器
针对蚀刻应用的 Ultipleat 大流量过滤器Ultipleat大流量过滤器旨在用于 TFT 液晶显示器应用,例如湿法蚀刻和清洗。


Ultipleat PK 过滤器
Ultipleat PK 过滤器用于7代线和8代线 液晶显示器 (LCD) 工艺所需的高流量水溶液应用。
    

Ultipleat PKS 过滤器
Ultipleat PKS 过滤器用于从 5代线至最新一代液晶显示器 (LCD) 工艺所需的高流量水溶液应用。




Varafine VFSG 系列过滤器
Varafine VFSG 系列过滤器专利高非对称膜可确保超高流量和长期的使用寿命。


 

Water-Fine 系列过滤器
Water-Fine 系列过滤器用于去离子及高纯度水过滤,具有高流速和较长的使用寿命。
 

 

滤壳

Fluoro-Plus II PFA 滤壳
Fluoro-Plus II PFA 滤壳用于微电子行业关键点位化学应用的 PFA 材质单芯过滤壳。



Megaplast In-Line PFA 滤壳
Megaplast In-Line PFA 滤壳可满足超纯化学品在清洁度和兼容性方面的严格要求。


Megaplast 聚丙烯和 PVDF 滤壳(超纯水过滤)
Megaplast 聚丙烯和 PVDF 滤壳(超纯水过滤)不使用任何金属部件,可提供优异的机械特性。